MYW10

CKD テクノロジーでは、新品の機械を在庫しているだけでなく、すぐにご利用いただけます。

また、きめ細かなレンタル事業も行っており、初期投資を大幅に抑えながら、お客様の特定の生産要件に対応する準備ができています。詳細についてはお問い合わせください。

CKD には専門のエンジニアのチームがあり、すぐにターンキーサービスを提供できます。

中古機械の取引については、Whatsppまたはメールでお問い合わせください。

-------------------------------------------------------------------------------------

製品の特徴

MYW10 プラズマ システムは、非常に柔軟で高スループットのウェーハ表面処理プロセスを実現します。

・大気圧アルゴンプラズマシステム

• 幅100mmのインラインプラズマバッチ処理。従来の方法と比較して効率が 2 ～ 5 倍高く、運用コストが 30% 以上削減されます。

• 100% 中性血漿。安全で敏感な電子部品に優しい - プラズマ衝撃、静電気、火花、アーク放電、ほこり、高熱、表面波紋、紫外線放射がなく、製品へのダメージがゼロです。

• 多用途の化学プロセス: 有機汚染物質を除去するための O2 プロセス。金属酸化物を除去し、製品表面を活性化するための H2 プロセス

• パーティクル汚染やウェーハの表面粗さの変化を引き起こしません。

• ウェハとテープフレームの両方の生産に対応しており、2 つの間の迅速な切り替えが可能

• クラス 10 クリーンルームおよび SEMI 規格に適合

仕様