深センCKDテクノロジー株式会社
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製品
MYS10SD
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MYS10SD

MYSシリーズ – MYS10SDプラズマシステム
高効率、超低温、コスト効率の高いプラズマプラットフォーム
電子アセンブリおよび半導体市場の急速な成長に伴い、生産効率と信頼性に対する業界の要求は高まり続けています。 MYS シリーズ洗浄システムは、従来の真空プラズマ処理に伴う待ち時間を排除することで、すべての敏感な電子部品の安全な取り扱いを保証しながら、大幅に高いスループットと全体的な歩留まりの向上を実現します。

CKD テクノロジーでは、新品の機械を在庫しているだけでなく、すぐにご利用いただけます。

また、きめ細かなレンタル事業も行っており、初期投資を大幅に抑えながら、お客様の特定の生産要件に対応する準備ができています。詳細についてはお問い合わせください。

CKD には専門のエンジニアのチームがあり、すぐにターンキーサービスを提供できます。

中古機械の取引については、Whatsppまたはメールでお問い合わせください。

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製品の特徴

MYS10SD は、ミニ LED、エレクトロニクス、SMT、オプトエレクトロニクス、医療技術などの分野のアプリケーション向けに開発された完全自動のインライン プラズマ処理システムです。

・大気圧アルゴン広域プラズマシステム

• 100mm幅のインラインバッチプラズマ処理。従来の方法と比較して効率が 2 ~ 5 倍高く、運用コストが 30% 以上削減されます。

• 加工中、製品の表面温度は 45°C 未満に維持されます。

• ウォームアップ時間を必要としない即時起動により、生産時間を節約します。

• 幅広い製品の加工が可能。さまざまなサイズのプラズマヘッド間の柔軟な切り替えをサポート

• 柔軟性、互換性、コスト効率の高いプラズマ プラットフォーム

• 特定の製品領域を対象とした洗浄が可能

MYS10SD

仕様

基本仕様 MYS10SD
電力要件 AC200~240V、3.2kW、15A、50Hz
空気圧要件 90psi (6バール)
寸法 990*1300*1800mm
重さ 680kg
認証基準 CE
位置決め精度 XYZ: ±50μm @ 3σ
XYZ軸繰り返し精度 XYZ: ±25μm @ 3σ
最高速度 600mm/s(XY)
加速度 0.6g
駆動方式 ACサーボ
作業床仕様
コンベアタイプ ベルト
コンベヤ耐荷重 3kg
基板厚さ範囲(キャリアなし)
0.5~10mm
Z軸移動量 60mm
最大。コンポーネントの高さ (上面) 100mm
最大。コンポーネントの高さ (底面) 100mm
通信プロトコル SMEMA
動作範囲
プラズマ処理エリア(幅×奥行き) 475~480mm
処理後接触角 (WCA) WCA < 10° (シリコンウェーハ)
WCA < 20° (非金属)
プラズマ処理方法 Ar+O2 プロセスによる有機汚染物質の除去
プラズマシステム要件
RF電力 13.56MHzで250W
主なプラズマガス アルゴン
プロセスガス O2
ガス供給圧力範囲 40 ~ 120 psi (0.3 ~ 0.8 MPa)







ホットタグ: MYS10SD チェーン サプライヤー、MYS10SD ローラー チェーン、MYS10SD チェーン卸売
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